No.21 แหล่งความร้อนสำหรับการอบหลังการฉายแสง (PEB)

《 ปัญหา 》

แหล่งความร้อนแบบดั้งเดิมมีอัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่ช้า ซึ่งอาจไม่สามารถช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ

《 ⇒คะแนนสำหรับการปรับปรุง 》
การใช้ เครื่องทำความร้อนเส้นคาร์บอน สำหรับการอบ PEB ของฟิล์มเรซิสต์ ช่วยให้สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว การเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วช่วยเพิ่มอัตราการผลิต และช่วยให้กระบวนการผลิตมีประสิทธิภาพมากขึ้น อีกทั้ง เครื่องทำความร้อนเส้นคาร์บอน ยังมีการออกแบบที่กะทัดรัด ช่วยประหยัดพื้นที่ และทำให้การจัดวางอุปกรณ์มี