《 ปัญหา 》

กระบวนการอบอ่อนเวเฟอร์ SiC จำเป็นต้องใช้ความร้อนที่สม่ำเสมอในอุณหภูมิสูง แต่การเพิ่มประสิทธิภาพของกระบวนการยังคงเป็นความท้าทาย

《 ⇒คะแนนสำหรับการปรับปรุง 》
ด้วยการใช้ เครื่องทำความร้อนเส้นคาร์บอน ประสิทธิภาพการให้ความร้อนดีขึ้น
ประสิทธิภาพของกระบวนการเพิ่มขึ้น และการออกแบบที่กะทัดรัดช่วยประหยัดพื้นที่
นอกจากนี้ ประสิทธิภาพการใช้พลังงานในกระบวนการที่อุณหภูมิสูงก็ได้รับการปรับปรุงเพิ่มเติม