《 ปัญหา 》

ไม่มีเครื่องทำความร้อนที่ดีพอที่จะระเหยหยดน้ำบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนได้อย่างรวดเร็ว

《 ⇒คะแนนสำหรับการปรับปรุง 》
มันถูกทำให้แห้งโดยการฉายรังสีด้วยรังสีอินฟราเรดโดยใช้เครื่องทำความร้อนแบบคาร์บอนไลน์ CFLH
เนื่องจากความยาวคลื่นในการดูดกลืนแสงตรงกัน หยดน้ำจึงระเหยอย่างรวดเร็ว
เวลาแท็คต์สั้นลง