78. การทำให้แห้งด้วยไนโตรเจนของซิลิคอนเวเฟอร์

《 ปัญหา 》

เมื่อแห้งตามธรรมชาติ ยังคงมีร่องรอยของหยดน้ำหลงเหลืออยู่ และฉันกังวล

《 ⇒คะแนนสำหรับการปรับปรุง 》
การทำให้แห้งทำได้โดยการให้ความร้อนกับไนโตรเจนด้วยเครื่องทำลมร้อน
ไม่มีร่องรอยของหยดน้ำและไม่มีปฏิกิริยาออกซิเดชั่น ดังนั้นคุณภาพจึงดีขึ้น