《 ปัญหา 》

ฉันมีปัญหาเพราะไม่มีวิธีที่ดีในการให้ความร้อนกับเวเฟอร์ซิลิคอนอย่างง่ายดาย

《 ⇒คะแนนสำหรับการปรับปรุง 》
เครื่องทำความร้อนแบบลมร้อนถูกใช้เพื่อฉีดก๊าซไนโตรเจนที่อุณหภูมิสูง และปรับอุณหภูมิพื้นผิวด้านบนเป็น 40°C
ขณะนี้สามารถวัดเวเฟอร์ได้โดยไม่ต้องใช้สุญญากาศ