No.1 การอบแห้งเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 300 มม. หลังจากการทำความสะอาดอย่างแม่นยำ

《 ปัญหา 》 ไม่มีเครื่องทำความร้อนที่ดีพอที่จะระเหยหยดน้ำบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนได้อย่างรวดเร็ว 《 ⇒คะแนนสำหรับการปรับปรุง 》 มันถูกทำให้แห้งโดยการฉายรังสีด้วยรังสีอินฟราเรดโดยใช้เครื่องทำความร้อนแบบคาร์บอนไลน์ CFLH เนื่องจากความยาวคลื่นในการดูดกลืนแสงตรงกัน หยดน้ำจึงระเหยอย่างรวดเร็ว เวลาแท็คต์สั้นลง