No.22 แหล่งความร้อนสำหรับกระบวนการอบหลังการฉายแสง (Post-Bake)

《 ปัญหา 》

แหล่งความร้อนแบบดั้งเดิมมีอัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่ช้า ซึ่งอาจทำให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง

《 ⇒คะแนนสำหรับการปรับปรุง 》
การใช้ เครื่องทำความร้อนเส้นคาร์บอน สำหรับกระบวนการอบหลังการฉายแสงของฟิล์มเรซิสต์ ช่วยให้สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว อัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่สูงขึ้นช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต และเพิ่มประสิทธิภาพโดยรวมของกระบวนการผลิต นอกจากนี้ การออกแบบที่กะทัดรัดของ เครื่องทำความร้อนเส้นคาร์บอน ยังช่วยประหยัดพื้นที่ และทำให้สามารถจัดวางอุปกรณ์ได้อย่างยืดหยุ่นมากขึ้น