《 ปัญหา 》
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การอบล่วงหน้าของฟิล์มเรซิสต์เป็นขั้นตอนสำคัญเพื่อให้แน่ใจว่าคุณภาพของฟิล์มมีความเสถียร อย่างไรก็ตาม แหล่งความร้อนแบบดั้งเดิมมีอัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่ช้า ทำให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง นอกจากนี้ ยังมีข้อจำกัดเรื่องพื้นที่ติดตั้งแหล่งความร้อนอีกด้วย
《 ⇒คะแนนสำหรับการปรับปรุง 》
การใช้ เครื่องทำความร้อนเส้นคาร์บอน สำหรับการอบล่วงหน้าของฟิล์มเรซิสต์ ช่วยให้สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ นอกจากนี้ ความสามารถในการให้ความร้อนที่รวดเร็วช่วยเพิ่มอัตราการผลิต และช่วยให้กระบวนการผลิตมีประสิทธิภาพมากขึ้น อีกทั้ง เครื่องทำความร้อนเส้นคาร์บอน ยังได้รับการออกแบบให้มีขนาดกะทัดรัด ช่วยประหยัดพื้นที่ และทำให้การจัดวางอุปกรณ์มีความยืดหยุ่นมากขึ้น