42. การอบแห้งซิลิคอนเวเฟอร์

《 ปัญหา 》

วิธีการแบบเดิมประสบปัญหาเนื่องจากอากาศแห้งมีไอออนของโลหะอยู่

《 ⇒คะแนนสำหรับการปรับปรุง 》
อุ่นและทำให้แห้งด้วยเครื่องทำลมร้อนสเปคห้องสะอาด
เนื่องจากฮีตเตอร์เคลือบด้วยแก้ว ปริมาณไอออนของโลหะจึงลดลง